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DQ-RM 150 | |
加工曲面類型 | 除常規非球面外,可加工高陡度及非常規光學元件 |
加工軌跡 | 光柵軌跡、隨機軌跡(選配) |
加工口徑 | 30-150mm |
加工工件外形 | 圓形、橢圓形、矩形及任意多邊形 |
加工材料 | K9(BK7)、熔石英、ULE、微晶、硅、碳化硅、鎳磷合金等 |
加工精度 | 面形精度RMS≤5nm,表面粗糙度Ra≤2nm(超光滑液Ra≤0.5nm) |
設備特點 | 利用機械臂高速靈活等特點與相位偏折檢測技術結合,實現超高加工、 檢測閉環效率,適合小口徑非球面批量加工及非常規光學元件的單件加工 |
設備配置 | |
拋光輪模組 | MRF160,MRF80,MRF50(配備快換系統后可互換) |
光學元件快換系統 | 重復定位精度優于5μm,適合批量加工， 與Satisloh、Optotech、LuphoScan等設備通用 |
相位偏折檢測系統 | 與小型機械臂配合使用,可實現在線加工檢測功能 |
軟件配置 | |
SLAM | 對上述加工功能均有效支持,且均可在云端實現遠程計算功能 |
應用領域 | 高精度鏡頭元件、高能激光元件、相位板、航空航天光學元件 |
